Ψεκάζοντας στόχος τιτανίου κραμάτων Gr1 Gr2 Gr5 TiAl για το επίστρωμα PVD

Gr1 Gr2 Gr5 TiAl κράμα τιτανίου Στόχος ψεκασμού τιτανίου Για επικάλυψη PVD

- Δεν ξέρω.

1Το στόχο υλικό.

Το υλικό-στόχος είναι το υλικό-στόχος που βομβαρδίζεται από φορτισμένα σωματίδια υψηλής ταχύτητας.από ανοξείδωτο χάλυβα, τιτάνιο, νικέλιο κλπ.), μπορείτε να αποκτήσετε διαφορετικά συστήματα φιλμ (όπως σούπερ σκληρό, ανθεκτικό στην φθορά, φιλμ αντι-διάβρωσης, κλπ.).

(1) Στόχοι μετάλλων: στόχος νικελίου, Ni, στόχος τιτανίου, Ti, στόχος ψευδαργύρου, Zn, στόχος χρωμίου, Cr, στόχος μαγνησίου, Mg, στόχος νιοβίου, Nb, στόχος κασσίτερου, Sn, στόχος αλουμινίου, Al, στόχος ινδίου, Inστόχος σιδήρου, Fe, στόχο ζυρκόνιο αλουμινίου, ZrAl, στόχο τιτάνιο αλουμινίου, TiAl, στόχο ζυρκόνιο, Zr, στόχο αλουμινίου πυριτίου, AlSi, στόχο πυριτίου, Si, στόχο χαλκού Cu, στόχο ταντάλου T, α,στόχος γερμανίου, Ge, στόχος αργύρου, Ag, στόχος κοβάλτου, Co, στόχος χρυσού, Au, στόχος γαδολίνιου, Gd, στόχος λανθανίου, La, στόχος ιτρίου, Y, στόχος κερίου, Ce, στόχος βολφραμίου, w, στόχος ανοξείδωτου χάλυβα,στόχος νικελίου-χρωμίου, NiCr, hafnium Target, Hf, molybdenum target, Mo, στόχος σιδήρου-νικελίου, FeNi, στόχος βολφραμίου, W κλπ.

(2) Κηραμικοί στόχοι: στόχος ITO, στόχος οξειδίου του μαγνησίου, στόχος οξειδίου του σιδήρου, στόχος νιτρικού πυριτίου, στόχος καρβιδίου του πυριτίου, στόχος νιτρικού τιτανίου, στόχος οξειδίου του χρωμίου, στόχος οξειδίου του ψευδαργύρου,στόχος θειούχου ψευδαργύρου, στόχος διοξειδίου του πυριτίου, ένας στόχος οξειδίου του πυριτίου, στόχος οξειδίου του κερίου, στόχος διοξειδίου του ζιρκώνου, στόχος πεντοξειδίου του νιόβίου, στόχος διοξειδίου του τιτανίου, στόχος διοξειδίου του ζιρκώνου, στόχος διοξειδίου του χαφνίου,στόχος διβοριδίου τιτανίου, στόχος διβοριδίου ζιρκονίου, στόχος τριοξειδίου του βολφραμίου, στόχος οξειδίου του αλουμινίου, οξειδίου του ταντάλου, στόχος πεντοξειδίου του νιόβίου, στόχος φθοριούχου μαγνησίου, στόχος φθοριούχου ιτρίου, στόχος σεληνιδίου ψευδαργύρου,στόχος νιτρικού αλουμινίου, στόχος νιτρίδιο του πυριτίου, στόχος νιτρίδιο του βορίου, στόχος νιτρίδιο του τιτανίου, στόχος καρβιδίου του πυριτίου, στόχος νιοβατικού λιθίου, στόχος τιτανικού πραζεοδίμου, στόχος τιτανικού βαρίου,στόχος τιτανίου λανθανίου, στόχος οξειδίου του νικελίου, στόχος ψεκασμού κλπ.

2Οι κύριες απαιτήσεις απόδοσης του στόχου

(1) Αγνότητα

Η καθαρότητα είναι ένας από τους κύριους δείκτες απόδοσης του στόχου, επειδή η καθαρότητα του στόχου έχει μεγάλη επιρροή στην απόδοση του φιλμ.Οι απαιτήσεις καθαρότητας των υλικών-στόχων είναι επίσης διαφορετικές.Για παράδειγμα, με την ταχεία ανάπτυξη της βιομηχανίας μικροηλεκτρονικών, το μέγεθος των πλακών από πυρίτιο έχει αυξηθεί από 6 ", 8" σε 12 ", και το πλάτος των καλωδίων έχει μειωθεί από 0,5um σε 0,25um, 0.18um ή ακόμα και 0Η προετοιμασία των γραμμών 0,18um απαιτεί καθαρότητα 99,999% ή ακόμη και 99,9999%.

(2) Περιεκτικότητα σε ακαθαρσίες

Οι ακαθαρσίες στο σταθερό στόχο και το οξυγόνο και ο υδρατμός στους πόρους είναι οι κύριες πηγές ρύπανσης για το αποθεματισμένο φιλμ.Διαφορετικοί στόχοι έχουν διαφορετικές απαιτήσεις για διαφορετικές περιεκτικότητες προσμείξεωνΓια παράδειγμα, οι στόχοι καθαρού αλουμινίου και κράματος αλουμινίου που χρησιμοποιούνται στη βιομηχανία ημιαγωγών έχουν ειδικές απαιτήσεις για την περιεκτικότητα σε αλκαλικά μέταλλα και σε ραδιενεργά στοιχεία.

(3) Πυκνότητα

Για να μειωθούν οι πόροι στα στερεά του στόχου και να βελτιωθεί η απόδοση του φιλμ, ο στόχος πρέπει συνήθως να έχει υψηλότερη πυκνότητα.Η πυκνότητα του στόχου δεν επηρεάζει μόνο τον ρυθμό ψεκασμού.Όσο μεγαλύτερη είναι η πυκνότητα στόχου, τόσο καλύτερη είναι η απόδοση του φιλμ.Η αύξηση της πυκνότητας και της αντοχής του στόχου επιτρέπει στον στόχο να αντέχει καλύτερα στην θερμική πίεση κατά τη διάρκεια της ψεκασμούΗ πυκνότητα είναι επίσης ένας από τους βασικούς δείκτες απόδοσης του στόχου.

(4) Μέγεθος και κατανομή των σπόρων

Το υλικό στόχου είναι συνήθως πολυκρυσταλλικό και το μέγεθος του κόκκου μπορεί να είναι της τάξης των μικρών έως χιλιοστών.η ταχύτητα ψεκασμού του στόχου με λεπτές κόκκους είναι ταχύτερη από εκείνη του στόχου με χοντρικές κόκκους; το πάχος του φιλμ που αποθηκεύεται με ψεκασμό του στόχου με μικρή διαφορά στο μέγεθος του κόκκου (ομοιόμορφη κατανομή) είναι πιο ομοιόμορφο.

3Υλικό

ΕπενδύσειςΚαθαρό τιτάνιο: GR1

(2) Λύκος τιτανίου: Gr5 τιτανίου, τιτανίου αλουμινίου TiAl, τιτανίου νικελίου TiNi, τιτανίου χρωμίου TiCr, τιτανίου ζιρκονίου TiZr, χαλκού τιτανίου TiCu κλπ.

(3)Άλλα υλικά: Στόχοι ψεκασμού από ζιρκόνιο, στόχοι ψεκασμού από χρώμο, στόχοι ψεκασμού από θουλφραμάνιο, στόχοι ψεκασμού από χαλκό κλπ.

4Σκοπός

Χρησιμοποιείται ευρέως σε διακοσμητικές επικάλυψεις, ανθεκτικές στην φθορά επικάλυψεις, CD και VCD στη βιομηχανία ηλεκτρονικών συσκευών, καθώς και σε διάφορες επικάλυψεις μαγνητικών δίσκων.

Οι ταινίες βολφραμίου-τιτανίου (W-Ti) και οι ταινίες κράματος με βάση το βολφραμίου-τιτανίου (W-Ti) είναι ταινίες κράματος υψηλής θερμοκρασίας με μια σειρά από αναντικατάστατες εξαιρετικές ιδιότητες.Το βόλφραμ έχει ιδιότητες όπως υψηλό σημείο τήξηςΤο κράμα W / Ti έχει χαμηλό συντελεστή αντίστασης, καλή θερμική σταθερότητα και αντοχή στην οξείδωση.Τέτοιες διάφορες συσκευές απαιτούν μεταλλική καλωδίωση που παίζει έναν αγωγό ρόλοΩστόσο, το ίδιο το μέταλλο της καλωδίωσης οξειδώνεται εύκολα, αντιδρά με το περιβάλλον που το περιβάλλει,και έχει κακή προσκόλληση στο διηλεκτρικό στρώμαΗ διάχυση σε υλικά υποστρώματος συσκευών όπως το Si και το SiO2 είναι εύκολη και σχηματίζει μέταλλο και Si σε χαμηλότερη θερμοκρασία.να υποβαθμίσει σημαντικά τις επιδόσεις της συσκευήςΤο κράμα W-Ti είναι εύκολο να χρησιμοποιηθεί ως φραγμός διάχυσης καλωδίων λόγω των σταθερών θερμομηχανικών ιδιοτήτων, της χαμηλής κινητικότητας των ηλεκτρονίων, της υψηλής αντοχής στη διάβρωση και της χημικής σταθερότητας,Ιδιαίτερα κατάλληλο για χρήση σε περιβάλλοντα υψηλού ρεύματος και υψηλής θερμοκρασίας .

Λεπτομερείς εικόνες

Εργοστάσιο

Συσκευή και παράδοση:

Η μέθοδος συσκευασίας μας μπορεί να αποτρέψει την σύγκρουση μεταξύ των υλικών κατά τη μεταφορά.και μπορεί επίσης να αποτρέψει την επίδραση των εξωτερικών αγαθών στο προϊόν, και να διασφαλίσει ότι το προϊόν παραδίδεται μετά την παράδοση Ακεραιότητα.

---1.Η σφραγισμένη συσκευασία, στη συνέχεια, τοποθετηθεί στο κουτί χαρτονιού ή στο τυπικό τυπικό κουτί πλακέ.

- Δύο.Χρησιμοποιώντας αποκλειστικό προσαρμοσμένο κουτί με το λογότυπο του πελάτη, κάθε μεμονωμένη συσκευασία, για να βοηθήσει τους αγοραστές να κατευθύνουν τις πωλήσεις.

---Αποδέχεται τις απαιτήσεις του πελάτη

Βεβαιωθείτε ότι κάθε πακέτο είναι προσαρμοσμένο για εσάς.Βεβαιωθείτε ότι όταν λάβετε τα αγαθά δεν είναι κατεστραμμένα.